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その他電顕関連製品
Silicon Nitride Membrane Window Grids
窒化シリコンメンブンウィンドTEMグリッド


Membrane window thickness of 100 nm Si3N4 with surrounding silicon support frame
of 200um. Frame is sized to fit intostandard 3 mm TEM grid holder. Window dimensions:
Inside square: 0.46 mm and outside square 0.7mm.

窒化シリコン(Si3N4)のユニークなメンブレンが革新性の高い手法により製造されています。Si3N4
薄いフィルムは標準グレードのシリコンウェハー上に望みの厚さに蒸着され、シリコンウェハーを通して
Si3N4層までバックエッチングにより、メンブレンウィンドウが生成されます。メンブレンは一度きりの利用
に適しています。

メンブレン厚
窒化シリコンの厚さは8種: 500, 200, 150, 100, 75, 50, 30, 20 nmです。
シリコンウェハーから窒化シリコン層までバックエッチングすることで、メンブレンウィンドウが作られます。

推奨用途

メンブレンウィンドウは親水性?
グリッドは製造されたとき疎水性の傾向があり、水性懸濁液から取り出された試料であれば、浮遊した
ナノ粒子が不均一にメンブレンに広がって現れます。
SPI Plasma Prep IIのようなプラズマエッチャーに
よって処理されれば、メンブレンは親水性になります。しかしながら、その処理の効果は一過性です

光透過性
もし透過型光学顕微鏡で見れば、見た目上ウィンドウは“シースルー”です。
ある厚さを超えると光透過性が
小さくなってきます。しかし200 nmの厚さでさえ、可視光領域ではかなりの透過性があります。
光学特性を
考えると、13 nmのちょっと下に吸収端があることに注意してください。
厚さが100 nmのメンブレンに対して、
13 nmの透過率はおよそ44%です。
12.4 nmになると、13%に落ちてしまいます。


製品案内

型 番 グリッドサイズ SiNメンブレン厚 数量
4109SN-BA フレーム厚:200μm
ウィンドサイズ:0.5mm
500nm 10枚/pk
4120SN-BA 200nm 10枚/pk
4121SN-BA 150nm 10枚/pk
4122SN-BA 100nm 10枚/pk
4123SN-BA 75nm 10枚/pk
4124SN-BA 50nm 10枚/pk
4125SN-BA 30nm 10枚/pk
4159SN-BA 20nm 10枚/pk
4161SN-BA フレーム厚:200μm
ウィンドサイズ:1.0mm
150nm 10枚/pk
4112SN-BA 100nm 10枚/pk
4135SN-BA 50nm 10枚/pk
4162SN-BA 30nm 10枚/pk
4131SN-BA フレーム厚:100μm
ウィンドサイズ:0.5mm
100nm 10枚/pk
4132SN-BA 50nm 10枚/pk
4192SN-BA 30nm 10枚/pk
4160SN-BA フレーム厚:50μm
ウィンドサイズ:0.5mm
100nm 100枚/pk
4098SN-BA フレーム厚:200μm
ウィンドサイズ:0.25mm
500nm 10枚/pk
4099SN-BA 200nm 10枚/pk
4100SN-BA 150nm 10枚/pk
4101SN-BA 100nm 10枚/pk
4102SN-BA 75nm 10枚/pk
4103SN-BA 50nm 10枚/pk
4104SN-BA 30nm 10枚/pk
4105SN-BA 20nm 10枚/pk
4091SN-BA フレーム厚:200μm
ウィンドサイズ:0.1mm
500nm 10枚/pk
4092SN-BA 200nm 10枚/pk
4093SN-BA 150nm 10枚/pk
4094SN-BA 100nm 10枚/pk
4095SN-BA 75nm 10枚/pk
4096SN-BA 50nm 10枚/pk
4097SN-BA 30nm 10枚/pk
4107SN-BA 20nm 10枚/pk
4088SN-BA フレーム厚:200μm
ウィンドサイズ:0.05mm
100nm 10枚/pk
4090SN-BA 30nm 10枚/pk
4163SN-BA 20nm 10枚/pk



Silicon Nitride Membrane TEM Slot Grids
TEM用窒化シリコンメンブレンスロットグリッド
傾斜角を大きくすることが必要なTEM用グリッド


電子断層撮影
長さ2.0 mmのウィンドウは高傾斜角電子断層撮影を行うのに理想的な幾何配置です。
長いスロットを作ることはより短い(たとえば1.5 mm)スロットを作ることより困難です。
しかし、2.0 mmという長いスロットがいかに有用であるか教えてくれるでしょう。

型 番 グリッドサイズ SiNメンブレン厚 数量
4078SN-BA フレーム厚:200μm

スロットグリッド
ウィンドサイズ:1 x 0.25mm
500nm 10枚/pk
4079SN-BA 200nm 10枚/pk
4080SN-BA 150nm 10枚/pk
4081SN-BA 100nm 10枚/pk
4082SN-BA 75nm 10枚/pk
4083SN-BA 50nm 10枚/pk
4084SN-BA 30nm 10枚/pk
4085SN-BA 20nm 10枚/pk



Silicon Nitride Membrane Window Array Grids
窒化シリコンメンブレンウィンドアレイグリッド
スピンコーティングや真空蒸着のようなウィンドウプロセッシングに重要です

スピンコーティングや真空蒸着のようなメンブレンウィンドウを処理する研究者にとって、
マルチフレームアレイ(MFA)で同時に大量のメンブレンを均一に処理できて便利です。



このフレームの外形はすべてのメンブレンで同じであり、
弊社の標準的な厚さの200μmシリコンウェハーを使うと、
23.5 x 23.5 mm
です。


形  状
“角を取った”一辺2.65 mmの正方形フレームを製作しています。そのため、対角は3.05 mmになります。
一辺2.65mmのアレイグリッドは標準的な3.05 mmTEMグリッドホルダーにうまく据え付けることができます

たとえば、もし、フレームの外側のサイズが 3 x 3mmを必要な場合、これは6x6アレイに相当します
実際のアレイの寸法は18x18 mmになります。しかし、その外側の“リム”が付け加えられ、外側の
フレームの全寸法は23.5x23.5 mmになります。


スピンコーティング
MFA
を“チャック”に固定するために真空を使わないよう注意してください。真空はメンブレンを外側に
たわませ、そのため破砕抵抗を小さくします。
この変形のためコーティングが平坦でなくなります。
特別な“チャック”を開発した研究者がいます。真空よりもむしろクリップを使用しています。

アレイの分割
アレイには切り取り用の溝が引かれています。ピンセットでその溝の終端を押し下げれば、
その溝でウェハーが曲がるように見え始めます。
もう少し圧力をかけると、それは割れ始めます。
このとき、アレイをひっくり返し、裏側からも同じことをします。一旦、ひとつエッジが取れたら、
他のエッジを順に取っていき、それぞれのフレームの列を割ります。


TEMグリッドアプリケーション
型 番 フレームサイズ メンブレンサイズ メンブレン厚 アレイ 数量
4134SN-AB 2.65 x 2.65mm 0.5mm 100nm 7 x 7 49
その他アプリケーション(スピンコーティング)
4138SN-BA 3.0 x 3.0mm 0.5mm 100nm 6 x 6 36
4139SN-BA 5.0 x 5.0mm 1.0mm 100nm 4 x 4 16
4141SN-BA 7.5 x 7.5mm 2.0mm 100nm 3 x 3 9
4142SN-BA 10 x 10mm 3.0mm 100nm 2 x 2 4




Silicon Nitride Membrane Window Grids
窒化シリコンメンブレンウィンドグリッ"Wet Cell Kit"



ウェットセルキット
窒化シリコンメンブレンウィンドウグリッドは、ユニークな環境のチャンバー、言い換えると、
“ウェットセル”というこれまで不可能だった分解能で細胞や他のウェット試料のBSE画像
化(後方散乱電子像)を可能とするものを作るために使われています。

型 番 グリッドサイズ SiNメンブレン厚 数量
6100WC-BA フレーム厚:200μm
ウィンドサイズ:0.5mm
100nm 10枚/pk
6050WC-BA 50nm 10枚/pk
6030WC-BA 30nm 10枚/pk
6020WC-BA 20nm 10枚/pk
【製品構成】
SiNメンブレンウィンドグリッド:10枚
ブランクシリコングリッド:10枚
3M DP460接着剤:1本





通常のタングステンソースを用いたSEMを使って画像化されたメン
ブレンに付着した細胞。細胞の周囲に細胞突起が明確に観測されます。
顕微鏡写真の1辺は30μm



水性の環境における窒化シリコンメンブレンでの細胞増殖。
核と細胞過程:顕微鏡写真の1辺は100 μmです


通常のSEMを使って画像化されたメンブレンに付着した細胞

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