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AFM/SPM/STMキャリブレーショングレイティング
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CAL

AFM/SPM/STMキャリブレーショングレイティング

関連カテゴリ:
AFM/SPM/STM関連 > キャリブレーション
SPMの横方向および垂直方向のキャリブレーション、横方向の非直線性、ヒステリシス、クリープ、クロスカップリング効果、および先端形状の決定精度を検出するためのキャリブレーションスタンダードのフルラインをご提供致します。

トライアングル較正グレイティング

Triangular Test Grating
X, Y軸較正(AFM)、側面/垂直方向の走査非直線性、ヒステリシス、クリープ、
クロスカップリング効果の検出、角変形の検出
形状/特性
構造: シリコンウェハ上面にグレーティングを形成
パターン: 精密な直線、角度のある三角ステップの一次元(1-D)アレイ
エッジ角度: 70±2°
エッジ半径: <10 nm
周期(繰返): 3±0.05 um
チップサイズ: 5 x 5 x 0.5 mm
有効範囲: 3 x 3 mm(チップ中心)
型番 品名 数量 価格
TGG1-AB トライアングル較正グレイティング 1 48,000

X, Y, Z軸較正グレイティング

Simultaneous Calibration Grating
X, Y, Z軸方向の同時較正、AFMスキャナの側面較正、ヒステリシス、クリープ、
側面走査非直線性、クロスカップリング効果の検出
形状/特性
構造: シリコンウェハ/SiO2層上面にグレーティングを形成
パターン: 小さい長方形-3次元(3-D)アレイ
周期(繰り返し): 3.00±0.05 um
高さ: 20 nm ±1.5 nm* 
* ±10%=18nm - 22nm±1.5 nm
長方形側面サイズ: 1.5±0.35 um
チップサイズ: 5 x 5 x 0.5 mm
有効範囲: 3 x 3 mm(チップ中心)
型番 品名 数量 価格
TGQ1-AB X, Y, Z軸較正グレイティング 1 70,000

チップ特性グレイティング

Test Grating for Tip Characterization
スキャニングチップの3-D視覚化
先端の鋭敏/精度パラメーター(縦横比と曲率半径)の決定
チップ先端の劣化、汚染防止の判定
形状/特性
構造: シリコンウェハ上面にグレーティングを形成
パターン: 鋭先端配列
先端角度: 50±10°
曲率半径: <10 nm
周期(繰返: 3.00±0.05 um
対角線間隔: 2.12 um
高さ: 0.3 - 0.7 um
チップサイズ: 5 x 5 x 0.5 mm
有効範囲: 2 x 2 mm(チップ中心)
型番 品名 数量 価格
TGT1-AB チップ特性グレイティング 1 70,000

ネガティブアングルグレイティング(正方形)

Square Grating with Negative angles
AFMスキャナの側面較正、側面方向走査非直線性、ヒステリシス、クリープ、
クロスカップリング効果の検出、チップ縦横比の決定
形状/特性
構造: シリコンウェハ上面にグレイティングを形成
パターン: チェスボード配列、急下方切り込み縁がある四角柱
周期(繰返): 3.00±0.05 um
曲率半径: <10 nm
高さ: 0.3 - 0.6 um
チップサイズ: 5 x 5 x 0.5 mm
有効範囲: 3 x 3 mm(チップ中心領域)
型番 品名 数量 価格
TGX1-AB ネガティブアングルグレイティング 1 48,000

垂直方向(高さ)グレイティング

Height Calibration Grating
Z軸方向較正、非線形測定
形状/特性
  TGZ1-AB TGZ2-AB TGZ3-AB TGZ4-AB
構造 Siウェハ/SiO2層上面にグレイティングを形成
パターン 1次元(1-D)-Z軸方向
ステップ高 20nm±1.5nm 110nm±2nm 520nm±3nm 1400nm±10nm
周期 3.00±0.05um
側面サイズ 1.5±0.25um
チップサイズ 5 x 5 x 0.5mm
有効範囲 3 x 3mm(チップ中心領域)
価格 35,000 35,000 35,000 35,000

キャリブレーショングレイティングセット

Calibration Grating Set

TGS1-AB: SPM(Z軸)キャリブレーション3種類セット
TGS1F-AB: SPM(Z軸)キャリブレーション4種類セット
TGS1-PTB-AB: SPM(Z軸)キャリブレーション3種類セット(PTBトレーサビリティー証明書)
TGS2-AB: SPM横方向および垂直方向キャリブレーショングレイティングセット
TGSFull-AB: X、Y、Z軸方向AFMキャリブレーションフルセット、X、Y軸方向サブミクロンSPMキャリブレーション、
横方向および垂直方向キャリブレレーショングレイティングセット
TGS-CERT-AB:  X、Y、Z軸方向AFMキャリブレーションフルセット+国際トレーサビリティ付、
X、Y軸方向サブミクロンSPMキャリブレーション、横方向および垂直方向キャリブレレーショングレイティングセット
型番 品名・詳細 数量 価格
TGS1-AB TGZ1-AB, TGZ2-AB, TGZ3-AB 1set 48,000
TGS1F-AB TGZ1-AB, TGZ2-AB, TGZ3-AB, TGZ4-AB 1set 60,000
TGS1-PTB-AB TGZ1-AB, TGZ2-AB, TGZ3-AB
(PTBトレーサビリティ証明書付)
1set 350,000
TGS2-AB TGZ1-AB, TGZ2-AB, TGZ3-AB, 
TGX1-AB, TGG1-AB, TGT1-AB
1set 120,000
TGSFull-AB TGZ1-AB, TGZ2-AB, TGZ3-AB, TGX1-AB, 
TGG1-AB, TGT1-AB, TGQ1-AB, TDG01-AB
1set 200,000
TGS-CERT-AB TGZ1-AB, TGZ2-AB, TGZ3-AB, TGG1-AB, 
TGT1-AB, TGQ1-AB, TDG01-AB
(国際校正証明書付)
1set 700,000
AFM/SPM/STMキャリブレーショングレイティング