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サブミクロンキャリブレーション
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CAL

サブミクロンキャリブレーション

関連カテゴリ:
AFM/SPM/STM関連 > キャリブレーション
X, Y軸 Grating for SPM and STM submicron calibration in X or Y direction

回折格子キャリブレーション

Diffraction Calibration Grating for SPM
回折格子TDG01-ABはSPMのX軸またはY軸方向へのサブミクロン校正を目的としています
形状/特性
構造: グラスウェハ
   : カルコゲナイドガラス層上面にグレーティングを形成
   : 格子トップ表面:アルミニウム
パターンタイプ: 1次元(1-D)X軸またはY方向
パターン高さ: > 55 nmは良いイメージコントラストを提供
配列: 並列隆線
間隔: 278 nm (3600 periods/mm)
精度: ±1nm
サイズ: 12.5mm径, 2.5 mm厚
有効範囲: 9 mm(中心径)
型番 品名 数量 価格
TDG1-AB 回折格子キャリブレーション 1 50,000
サブミクロンキャリブレーション