会社概要
マルチフレームアレイ窒化シリコンメンブレングリッド
Multi Frame Array SiN Membrane Grids
【形状】
一辺2.65 mm(対角は3.0 mm)のアレイグリッドは標準的なTEMグリッドホルダーに適合します。
フレームの外側のサイズが3 x 3 mmを必要な場合、これは6 x 6アレイに相当します。
実際のアレイの寸法は18 x 18 mmになり、その外側の“リム”が付け加えられ外側のフレームの外寸法は
23.5 x 23.5 mmになります。
【スピンコーティング】
MFAを直接チャックに固定することはできません 。粘着性ゲルシート等を使用して、MFAグリッドをガラス
基板などに固定して、その基板をスピンコーターのチャックに固定します。
【アレイの分割】
アレイには切り取り用の溝が引かれています。 ピンセットでその溝の終端を押し下げれば、その溝で
ウェハーが曲がり、圧力をかけると割れます。
フレーム厚: 200um
メンブレン厚: 50, 100nm窒化シリコン(SiN)メンブレン
| 型番 | グリッドサイズ(mm) | ウィンドウサイズ(mm) | メンブレン | 配列 | 数量 | 価格 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 4134SN-AB | 2.65 x 2.65 | 0.5 x 0.5 | 100nm | 7x7 | 49 | ¥210,000 |
| 4138SN-AB | 3.0 x 3.0 | 0.5 x0.5 | 100nm | 6x6 | 36 | ¥210,000 |
| 4139SN-AB | 5.0 x 5.0 | 1.0 x 1.0 | 100nm | 4x4 | 16 | ¥210,000 |
| 4141SN-AB | 7.5 x 7.5 | 2.0 x 2.0 | 100nm | 3x3 | 9 | ¥210,000 |
| 4142SN-AB | 10.0 x 10.0 | 3.0 x 3.0 | 100nm | 2x2 | 4 | ¥210,000 |
| 4151SN-AB | 2.65 x 2.65 | 0.5 x0.5 | 50nm | 7x7 | 49 | ¥350,000 |