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MAG*I*CAL倍率キャリブレーション
商品コード:
MGSP

MAG*I*CAL倍率キャリブレーション

関連カテゴリ:
電子顕微鏡関連 > TEM標準試料/キャリブレーション
MAG*I*CAL Magnification Calibration for TEM
MAG*I*CAL較正試料によって、あらゆる拡大率、カメラ長、回折パターンにおけるすべての主要なTEMの較正ができます

MAG*I*CAL TEM倍率較正/キャリブレーション

MAG*I*CALはMBE(分子線エピタキシー法)によってエピタキシャル成長したSiとSiGeの原子論的に連続で平
坦な層から成るシリコン単結晶の断面をイオンミリングでできています。 較正構造をTEMで観察すると、層の厚
さが正確に分かっている明暗の連続な層のように見えます。明るい層(Silicon)と暗い層(SiGe)の較正された厚
さ測定はシリコンの<111>格子間隔のTEM測定値に基づくもので、較正試料それ自身で見ることができ、X線回
折測定によって検証できます。層間隔の設計により、試料はTEMで1,000Xから1,000,000Xまでの範囲の拡大
率の較正に使われます。試料はシリコンの単結晶でもあるので、カメラ定数、画像回折パターン回転のような電
子回折情報を必要とする較正が簡単に実行できます。
MAG*I*CAL取扱説明

TEM倍率範囲
TEMのためのMAG*I*CAL較正基準ゲージは一連の較正目盛が預けられたシリコンウェハのイオンミリング断面からなります。 これらの校正目盛間のスペースは、非常に正確です。 規格の校正目盛を含む4つの領域があり、これらの4つの領域が図面と写真の両方に矢によって示されます。規格における中心性穿孔は小さく図に示されているように(直径約0.1mmのイメージ)エポキシ線が非常に薄いことに注意してください。                      
カメラ定数較正
カメラ定数較正は電子線回折に使用される中で、最も一般的な較正です。顕微鏡使用者は観察される材料の結晶格子スペースを特定できます。この識別は、単結晶(スポット)回折像の場所の間で距離を測定するか、または多結晶回折像でリング直径を測定することによって実行されます。この較正はCamera Constant方程式を利用します。                            
イメージ/回折パターン回転較正
イメージ/回折像回転較正は、サンプルの他の結晶、特徴またはインタフェースに比例して結晶質のオリエンテーションを特定するのに使用されます。 この較正に各倍率範囲においてそれぞれのカメラの長さで基準ゲージイメージと基準ゲージ回折像の二重露出をあらゆる加速電圧で取ることが必要です。                             



 

























型番 品名 数量 価格
02218 MAG*I*CAL TEM倍率キャリブレーション 1 320,000