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シリコンチップ基板
Silicon Chip Substrates
シリコン基板
シリコンチップ基板は、エレクトロニクスグレードの<100>シリコンウェーハです。 ガラスカバースリップに匹敵する滑らかさで高度に研磨されています。 SPMおよびSEM用途の基板として優れており、シリコンチップ基板は不透明であり、低電気抵抗率を示し、マイクロアンプが電流の点で関与するSEMにおいて本質的に「導電性」になります。 これらは化学的に不活性であり、使用前に化学的エッチング効果が懸念されることなくさらに洗浄することができます。 ガラスよりもはるかに高い温度に変化が起こることなく加熱することができ、ガラスでは不可能な特定の加熱実験を可能にします。
100mm(4 ")のウェハ全体を、個々のチップを簡単に分割できるようにプレカットしてあります。
材料科学サンプルアプリケーション:
コロイドサイズのナノ粒子がFESEMのように高分解能で研究されている場合に使用します。 シリコン基板はガラスカバースリップの滑らかさを有し、高分解能SEMに必要な導電性をも有しています。 シリコン基板はいくらか導電性であるため、金属コーティングの必要性を軽減することができます。また、メタライゼーションが必要な場合は、コントラストを考慮して、オスミウムプラズマコーティングを推奨します。
ライフサイエンスサンプルアプリケーション:
表面平滑性はガラスカバースリップまたは顕微鏡スライド上に見られるものに匹敵するので、これは細胞の増殖およびマウントのための理想的な基板です。シリコンチップ基板の別の特徴は、ガラスカバースリップを使用しているかのように処理し、臨界点で乾燥させることができます。 また、シリコン基板は不活性のため、オートクレーブ処理することもできます。
基板厚さ: 460-530 um
研磨:片面のみ
配行: <100>
抵抗値:1-30 Ohms
導電性:P type(Boron)
粗度:2 nm
シリコン基板
シリコンチップ基板は、エレクトロニクスグレードの<100>シリコンウェーハです。 ガラスカバースリップに匹敵する滑らかさで高度に研磨されています。 SPMおよびSEM用途の基板として優れており、シリコンチップ基板は不透明であり、低電気抵抗率を示し、マイクロアンプが電流の点で関与するSEMにおいて本質的に「導電性」になります。 これらは化学的に不活性であり、使用前に化学的エッチング効果が懸念されることなくさらに洗浄することができます。 ガラスよりもはるかに高い温度に変化が起こることなく加熱することができ、ガラスでは不可能な特定の加熱実験を可能にします。
100mm(4 ")のウェハ全体を、個々のチップを簡単に分割できるようにプレカットしてあります。
材料科学サンプルアプリケーション:
コロイドサイズのナノ粒子がFESEMのように高分解能で研究されている場合に使用します。 シリコン基板はガラスカバースリップの滑らかさを有し、高分解能SEMに必要な導電性をも有しています。 シリコン基板はいくらか導電性であるため、金属コーティングの必要性を軽減することができます。また、メタライゼーションが必要な場合は、コントラストを考慮して、オスミウムプラズマコーティングを推奨します。
ライフサイエンスサンプルアプリケーション:
表面平滑性はガラスカバースリップまたは顕微鏡スライド上に見られるものに匹敵するので、これは細胞の増殖およびマウントのための理想的な基板です。シリコンチップ基板の別の特徴は、ガラスカバースリップを使用しているかのように処理し、臨界点で乾燥させることができます。 また、シリコン基板は不活性のため、オートクレーブ処理することもできます。
基板厚さ: 460-530 um
研磨:片面のみ
配行: <100>
抵抗値:1-30 Ohms
導電性:P type(Boron)
粗度:2 nm
| 型番 | サイズ | 品名 | 数量 | 価格 |
|---|---|---|---|---|
| 4135SC | 3 x 3 mm | シリコンチップ(pre-cut) | 600/wafer | ¥46,000 |
| 4136SC | 5 x 5 mm | 269/wafer | ¥37,000 | |
| 4137SC | 5 x 7 mm | 180/wafer | ¥37,000 | |
| 4138SC | 10 x 10 mm | 55/wafer | ¥37,000 | |
| 4139SC | 20 x 20 mm | 10/wafer | ¥37,000 | |
| 4140SC | 20 x 30 mm | 6/wafer | ¥37,000 |
SiO2シリコンチップ基板
Thermal SiO2/Silicon Chip Substrates
SiO2シリコンチップ基板
SiO2シリコンチップは、シリコンウェーハ上に熱成長させた200nmのアモルファスSiO2膜で構成されています。
SiO2は、最も特徴的な材料の1つであり、半導体製造、薄膜研究、および細胞増殖の基板として使用されています。
AFMおよびSEMイメージングの基板としても直接使用できます。チップは5 x 5mm、5 x 7mm、10 x 10mmの
3種類。
SiO2シリコンチップ特性
•材質:CZバージンシリコンウェハ
•グレード:プライム
•配向:<100>
•タイプ/ドーパント:P /ボロン
•抵抗率:10〜20 Ohm-cm
•厚さ:675 +/- 25µm
•総厚変動(TTV):≤2µm
•サイト平坦度:≤1µm
•平坦度(Warp):≤30µm
•平坦度(Bow):≤20µm
•粒子: ≤20@≥0.2µm
•前面:研磨
•裏面:エッチング(研磨無)
•SiO2膜厚:200nm +/- 5%
| 型番 | サイズ | 品名 | 数量 | 価格 |
|---|---|---|---|---|
| 5136SC | 5 x 5 mm | SiO2シリコンチップ | 25/pk | ¥59,000 |
| 5137SC | 5 x 7 mm | 18/pk | ¥59,000 | |
| 5138SC | 10 x 10 mm | 6/pk | ¥59,000 |
金コーティング シリコンチップ
Gold 100nm Coated Silicon Chip
金 100nm コーティング シリコンチップ
SEM、細胞培養アプリケーションに適しています。金コーティングが剥がれることなくこれらの基材をどのくらいの高温下での使用については、一般的に約150℃と考えられ、250℃以上では安定している可能性があります。温度が高すぎると、金が表面から剥がれ始める可能性があります。
仕 様
チップサイズ: 7.5 x 7.5mm
ウェハ厚: 約525 um
配向性: <100>
金蒸着厚: 100nm真空蒸着
クロム接着層: 10nm
表面粗さ: 約2nm
金 100nm コーティング シリコンチップ
SEM、細胞培養アプリケーションに適しています。金コーティングが剥がれることなくこれらの基材をどのくらいの高温下での使用については、一般的に約150℃と考えられ、250℃以上では安定している可能性があります。温度が高すぎると、金が表面から剥がれ始める可能性があります。
仕 様
チップサイズ: 7.5 x 7.5mm
ウェハ厚: 約525 um
配向性: <100>
金蒸着厚: 100nm真空蒸着
クロム接着層: 10nm
表面粗さ: 約2nm
| 型番 | 品名 | 金膜厚 | サイズ(mm) | 数量 | 価格 |
|---|---|---|---|---|---|
| 4174GSC | 金コーティングシリコンチップ | 100nm | 7.5 x 7.5 | 2/pk | ¥20,000 |
ハンディ バキューム
Handy Vacuum Pick up Tool
カバースリップ/基板ピックアップツール
9.3mmシリコンカップを備えたシンプルな手動真空ポンプで、カバースリップ、マイカ、Siチップをピックアップ
特 徴
ESDセーフラバーボディ
35gまでピックアップして保持します
カバーグラス、マイカ、シリコンチップを傷をつけることなく簡単にピックアップして正確に配置
従来の金属ピンセットよりもユーザーフレンドリー
カバースリップ/基板ピックアップツール
9.3mmシリコンカップを備えたシンプルな手動真空ポンプで、カバースリップ、マイカ、Siチップをピックアップ
特 徴
ESDセーフラバーボディ
35gまでピックアップして保持します
カバーグラス、マイカ、シリコンチップを傷をつけることなく簡単にピックアップして正確に配置
従来の金属ピンセットよりもユーザーフレンドリー
| 型番 | 品名 | 数量 | 価格 |
|---|---|---|---|
| 4175VAC | ハンディバキューム | 1 | ¥3,750 |
