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商品コード:
BSEU

BSE(後方散乱電子検出器) for SEM

関連カテゴリ:
電子顕微鏡関連 > 電子顕微鏡関連機器
後方散乱電子検出器

REBEKA™ BSE unit

REBEKA™ BSE(Backscattered Electron Detector) unit
BSE(後方散乱電子検出器)ユニット


REBEKA™ BSEは、Crytur社で製造された最高の単結晶シンチレーターと精密な高真空力学および読み取りエレクトロニクスをすぐに使える1つのパッケージで組み合わせた、電子顕微鏡用の新しい引き込み式(格納式)BSE検出器です。BSE検出器は、YAG:Ceシンチレータおよび光ガイド(センサユニット)、真空光学フィードスルー、ベローズベース真空引き込み機構(機械ユニット)、光電子増倍管(PMT)および電子制御を含む散乱電子のシンチレータベース検出ユニットです。シンチレータは、導電性ITOコーティングを有するYAG:Ce単結晶です。シンチレーション光は、PMTモジュールによって検出され、格納式の真空力学が電動化されています。

     


REBEKAはほとんどのSEMに取り付けることができます。 適切なプレートを製造できる
ように、所望の位置およびフランジに関する情報が必要となります。


システム機能
センサーユニット:
YAG: 効率を最適化し、残光を最小限に抑えたCeシンチレーター
独創的なCRYTUR LOW-ENERGY COATING™は感度0.5 keVまで
指数減衰時間: 75 ns with 30 photons/keV
外径: 15 mm
内側の穴の直径: 6/4/2または1.2 mm。
感度: 1pA以下のビーム電流
 
メカニカルユニット:
寸法: 406 x 100 x 72 mm
究極の真空のためのベローズ設計
150 mm電動リトラクト
X, Y, Z軸の±2 mm微調整
再現性: 0.01 mm
金属保護チューブで覆われた検出器先端、最終厚さ3.5 mm, 幅24 mm
顧客のSEMに適応したフランジ
 
エレクトロニクス制御:
寸法: 210 x 180 x 80 mm
電源: 230/110 V
さまざまなスキャン速度に最適化された3つのノイズフィルタ
50MHz帯域幅
PMT HV内部ソース0〜1200 V
出力ビデオ信号: ±1V(±5V)
完全なリモートソフトウェア制御


製品情報
型番 品名 数量 価格
REBEKA-AB REBEKA BSE Detector for SEM 1 4,000,000