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スカラップ型アルミニウムグレイティング
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スカラップ型アルミニウムグレイティング

関連カテゴリ:
AFM/SPM/STM関連 > キャリブレーション
Scalloped Aluminum Grating for AFM reference & calibration standard in XY plane

スカラップ型アルミニウムグレイティング

Scalloped Aluminum Grating (SAG)
AFMリファレンス, XY平面における校正標準
SAGは、XY平面内のAFMリファレンスおよび校正標準として使用できる高精度の六角形の表面構造


特性/仕様
型番 SAG-102-AB SAG-65-AB
ピッチ平均 102.5±0.5nm 65±0.3nm
ピッチ平均精度* 0.5nm 0.3nm
ピッチ分布半値幅 6.5nm 6.0nm
平均プロフィール高 38nm 24nm
ドメイン構造 ポリドメイン
ドメインサイズ** 4.0μm 2.4μm
パターン 単一ドメイン内の高密度六角形パッケージ
材質 アルミニウム
基板 直径7nmのアルミダイス
アクティブアリア 直径4nm  
数量 4/pc 4/pc
価格 35,000 35,000
*ピッチ精度は、SEM画像の統計解析から得られた平均値の標準偏差。 105個以上の凹部が分析される
** 500以上のドメインにわたる加重平均値が与えられる


Scalloped Aluminum Grating(SAG)は、XY平面内のAFMリファレンスおよび校正標準として使用できる高精度の六角形の表面構造です。リソグラフィー法で製造される高価なサブミクロン格子とは異なり、SAGは、単純な電気化学的プロセスの条件によって決定される周期性を有する繰り返し可能で再現可能な自己組織化構造です。そそれは大きなハニカムドメインの形成を提供するピッチのための2つの選択肢を有する(Fig1および2)。 ドメイン内の平均周期性は102.5±0.5nm(SAG-102-AB)または65±0.3nm(SAG-65-AB)であり、多数のドメインの広い領域にわたって統計的に導かれます。

SAGは、表面に自然に形成されたシャープで高アスペクト比の特徴を備えた100nmスケールの回折格子になります。六角形のパターンは、くぼみとスパイクで構成されており、各凹面は6つのスパイクで囲まれています。スパイクの形状は、約30nmの高さおよび約5nmの頂点半径を有する三角錐によって近似されます。ピラミッドの面内配向は異なっていても問題なく、様々な無欠陥領域上に位置するAlスパイクの高さまたは頂点半径の区別可能な差異は観察されません。ピラミッドは極端に鋭い頂点のため、実験的に観察されたAFMスキャンの半径はAFMチップの鋭敏さを示します。タッピングモードは、AFMテストがチップまたはグレーティングへの損傷を避けるために推奨される方法です。Scalloped Aluminum Gratingは、高純度Alの電気化学的処理によって形成された六方晶構造であり、平均1500個の凹部を含む表面ドメイン内に2次元の六角形のパッケージングが観察されます(Fig 4)。回折格子のピッチには2つの選択肢があり、それぞれが約6nmの精度(凹部間距離の半値幅)を提供します。


スカラップ型アルミニウムグレイティング