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UVオゾンクリーナー
商品コード:
UVC

UVオゾンクリーナー

関連カテゴリ:
電子顕微鏡関連 > 電子顕微鏡関連機器
UVPrep for SEM

UVPrep

すべてのSEM試料表面にはサンプル調整または保存状態によって、ハイドロカーボンで被覆されています。この汚染は特にFE-SEMで試料表面の分解能に影響し、阻害します。UV Prepは試料自体に影響を与えることなく、ハイドロカーボン膜除去に最適なシステムです。

特 徴
● UV Prepは炭化水素結合を効果的に破壊するためにカスタマイズされたUV光源を使用
● サンプル表面の炭化水素を取り除き、サンプル破壊はありません
● マイクロプロセッサー制御により、再現可能な操作メニューの保存
● ドライダイアフラムポンプ内蔵により、チャンバー内を清潔に保ちサンプル処理を行います
● オゾンスクラバー内蔵により、生成されたオゾンは大気中に放出されません

大気環境下で試料を保管すると、サンプルは空気中の汚染物質を拾います。慎重に扱われない限り、取り扱いによって汚れも取り除かれます。 UV Prepは、これらの影響を軽減または排除するように設計されています。FE-SEMユーザーは、ビームエネルギーが低いほど、より多くの試料表面の詳細が画像化されます。その上に汚染物質を有する同じ試料表面。除去されない場合、ユーザーは、実際のサンプル表面ではなく、実際に汚染物質を撮像していることになります。
 
多くの場合、分析を行うために高倍率で焦点を合わせたり、低倍率で画像を取得したりすると、サンプル上にブラックボックス効果を形成します。多くの場合、これは試料そのものではなく試料表面の炭化水素汚染物のラスターバーンまたは電子ビーム誘起堆積(EBID)によって引き起こされます。 UV Prepで分析する前に表面からこれらの炭化水素を除去することにより、このブラックボックス効果の外観を大きく減少させることができます。

 
独自の操作能力(非常に低いkVでの高解像度イメージング)を利用するために、多くのユーザーが新しいFE-SEMを購入し、顕微鏡の宣伝された解像度を得る唯一の方法は、きれいなサンプルから始めることです。世界最高の顕微鏡でさえ、汚れたサンプルの貧弱な画像を与えることになります。
 
UV Prepは、さまざまなサンプル材料に安全に使用できます
金属
金属酸化物
セラミックス
半導体
Li電池の陰極材料
ポリマー
カーボンナノチューブ
グラフェン
カーボンファイバー
反射防止コーティング
生物学的サンプル
 
UV Prepは、カスタマイズされたUV光源を使用して、炭化水素結合を効果的に攻撃し、分解します。 同時に、酸素の反応性種は、これらの炭化水素結合と反応して、H2O、COおよびCO2などの分子を形成し、チャンバーからポンプで排出されます。 その結果、炭化水素汚染のない表面が得られます。 内蔵のオゾンスクラバーは発生したオゾンが環境に放出されないようにします。
 
簡単に使用でき、サンプルを装置にロードし、操作時間と真空レベルを設定します(UVパワーは真空レベルによって制御されます)。 サイズに応じて、単一または複数のサンプルを同時に実行することができます(ただし、SEMマウントホルダ全体をUVプリセットに入れてクリーニングすることを推奨します)。 小さなダイアフラムポンプを使用して、チャンバー内のわずかな真空を得て、反応種をポンプで排気します。 通常の実行時間は5~15分です。 UV Prepはまた、真空下でサンプルを保管するために使用できます。

型番 品名 数量 価格
12210-AB UV Prep for SEM 1 3,600,000

UV Prep仕様:
マイクロプロセッサ制御
真空クリーン/ストレージモード
クリーニング時間:0〜30分(1分ステップ)
真空システム:ドライポンプシステム
真空レベル:120秒以内にポンプダウン
寸法:360mm x 390mm x 480mm
重量:17kg
入力:単相100〜240V(50/60Hz)