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カーボン・スパッタコーター
商品コード:
CBCS

カーボン・スパッタコーター

関連カテゴリ:
電子顕微鏡関連 > 電子顕微鏡関連機器
Carbon/Sputter Coater System
カーボン、スパッタコーターシステムはモジュールユニット式のため、後からカーボンまたはスパッタユニットを増設することがが可能です

モジュールタイプ カーボン/スパッタコーターシステム

モジュールタイプ カーボン/スパッタコーター
カーボン/スパッタコーターは4つのモジュールから構成されています
使用目的等により、必要なモジュールユニットを選択して使用できます
また後からスパッタまたはカーボンモジュールの増設も可能
●Sputter Module (スパッタユニット) + Erch Mode
●Carbon Module (カーボンコーティングユニット)
●Vacuum Control Base  (真空コントロールユニット)
●Thickness Monitor  (膜厚モニターユニット)

特 長
● 省スペース/ベンチトップコーター
● 均一なコーティング
● 不活性ガス-IN/OUTポート
● サンプルステージの冷却可能
● サンプルへの熱損傷がありません
● サンプルステージの可動、カソードとの距離調整可能
● 各種ターゲット(Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag)

Carbon Coater system

カーボンコーターシステム
●カーボンコートモジュール(カーボンファイバーヘッド仕様)
●真空コントロールベースユニット
型番 品名 数量 価格
11427-AB カーボンコーターシステム
(カーボファイバー仕様)
1 1,570,000
消耗品・オプション
型番 品名・仕様 数量 価格
11431 カーボンファイバー  2mmØ x 1m  1 4,000
11436 カーボンファイバー  1.3mmØ x 1m 1 8,500
11435 カーボンファイバー  1mmØ x 1m 1 8,500
11433 カーボンファイバー  0.8mmØ x 1m 1 3,500
11439 カーボンロッド用ヘッド 1 200,000
01681 蒸着カーボンロッド  3.2mmØ(1/8") x 60mm 10/pk 5,500
01682 蒸着カーボンロッド  6.35mmØ(1/4") x 60mm 10/pk 6,500
01685 蒸着カーボンロッド  3.2mmØ(1/8") x 300mm 10/pk 16,500
01686 蒸着カーボンロッド  6.35mmØ(1/4") x 300mm 10/pk 17,500
01688 蒸着カーボンロッド  4.76mmØ(3/16") x 300mm 10/pk 17,500
※真空ポンプはオプションとなります。
※推奨真空ポンプ排気量: 50L/min



 

Sputter Coater System

スパッタシステム
●スパッタモジュール(オプション: Etchモード機能)
●QCM膜厚モニター
●真空コントロールベースユニット
型番 品名・仕様 数量 価格
12151-AB スパッタシステム(標準仕様)
Auターゲット付属
1 1,570,000
12151E-AB スパッタ(Etchモード付)システム 1 1,820,000
12151Q-AB スパッタ/膜厚モニターシステム 1 1,680,000
12151EQ-AB スパッタ(Etchモード)/膜厚モニターシステム 1 2,130,000
消耗品・オプション
型番 品名・仕様 数量 価格
14155 Au(100%)ターゲット 57mmØ x 0.254mm 1 286,000
14156 Au(60%)/Pd(40%)ターゲット 57mmØ x 0.254mm 1 220,000
14157 Pt(100%)ターゲット 57mmØ x 0.254mm 1 340,000
14158 Pd(100%)ターゲット 57mmØ x 0.254mm 1 135,000
14163 Ag(100%)ターゲット 57mmØ x 0.254mm 1 80,000
14167 Ir(100%)ターゲット 57mmØ x 0.254mm 1 665,000
※真空ポンプはオプションとなります。
※推奨真空ポンプ排気量: 50L/min


Carbon/Sputter Coater System

カーボンコート/スパッタシステム
●カーボンコートモジュール
●スパッタモジュール(オプション: Etchモード機能)
●QCM膜厚モニター
●真空コントロールベースユニット
型番 品名 数量 価格
12155-AB カーボン/スパッタシステム 1 2,200,000
12155E-AB カーボン/スパッタ(Etchモード付)システム 1 2,460,000
12155Q-AB カーボン/スパッタ/膜厚モニターシステム 1 2,500,000
12155EQ-AB カーボン/スパッタ(Etchモード)/膜厚モニターシステム 1 2,800,000
※真空ポンプはオプションとなります。
※推奨真空ポンプ排気量: 50L/min