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スピンコーター
商品コード:
SPCS

スピンコーター

関連カテゴリ:
電子顕微鏡関連 > 電子顕微鏡関連機器
Spin coater system

Spin coater system

Spin Coater 成膜スピンコーター

フォトレジスト薄膜やコーティングを正確かつ均一に成膜
最大50ステップのプロセス設定が可能、低速度で塗布、高速でコーティングを均質化
 
特 徴
● 省スペース、コンパクトスピンコーター
● プログラマブル設定(ステップ, 回転速度, 時間)
● コーティング基板サイズ: 8 mm~4インチウェハ
● オイルレス真空ポンプ付属
● 真空チャック: 真空チャックは2種類標準付属,
    8 mm サイズの基板から4インチウェハーまで対応
型番 SPIN-1200T
操作 タッチパネル
コーティング基板サイズ 8mm~100mm
回転速度 300 - 9,999 rpm
加速度 可変時間0.1秒ステップ
プログラム 50ステップ x 20プログラム
ボールサイズ 8インチ PP製
チャック
(標準付属品)
チャック1: 8mm~2インチ基板対象
チャック2: 3~4インチ基板/ウェハ対象
真空ポンプ
(標準付属品)
オイルレス真空ポンプ
(真空チャック用)
寸 法 340(W) x 260(D) x 230(H)mm
電 源 100V, 50/60HZ
価 格 970,000
スピンコーター