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回折格子キャリブレーション
Diffraction Calibration Grating for SPM
回折格子TDG01-ABはSPMのX軸またはY軸方向へのサブミクロン校正を目的としています
形状/特性
構造: グラスウェハ
: カルコゲナイドガラス層上面にグレーティングを形成
: 格子トップ表面:アルミニウム
パターンタイプ: 1次元(1-D)X軸またはY方向
パターン高さ: > 55 nmは良いイメージコントラストを提供
配列: 並列隆線
間隔: 278 nm (3600 periods/mm)
精度: ±1nm
サイズ: 12.5mm径, 2.5 mm厚
有効範囲: 9 mm(中心径)
回折格子TDG01-ABはSPMのX軸またはY軸方向へのサブミクロン校正を目的としています
形状/特性
構造: グラスウェハ
: カルコゲナイドガラス層上面にグレーティングを形成
: 格子トップ表面:アルミニウム
パターンタイプ: 1次元(1-D)X軸またはY方向
パターン高さ: > 55 nmは良いイメージコントラストを提供
配列: 並列隆線
間隔: 278 nm (3600 periods/mm)
精度: ±1nm
サイズ: 12.5mm径, 2.5 mm厚
有効範囲: 9 mm(中心径)
| 型番 | 品名 | 数量 | 価格 |
|---|---|---|---|
| TDG1-AB | 回折格子キャリブレーション | 1 | ¥125,000 |
