モジュールタイプ カーボン/スパッタコーターシステム
モジュールタイプ カーボン/スパッタコーター
カーボン/スパッタコーターは4つのモジュールから構成されています
使用目的等により、必要なモジュールユニットを選択して使用できます
また後からスパッタまたはカーボンモジュールの増設も可能
●Sputter Module (スパッタユニット) + Erch Mode
●Carbon Module (カーボンコーティングユニット)
●Vacuum Control Base (真空コントロールユニット)
●Thickness Monitor (膜厚モニターユニット)
特 長
● 省スペース/ベンチトップコーター
● 均一なコーティング
● 不活性ガス-IN/OUTポート
● サンプルステージの冷却可能
● サンプルへの熱損傷がありません
● サンプルステージの可動、カソードとの距離調整可能
● 各種ターゲット(Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag)
Carbon Coater system
●カーボンコートモジュール(カーボンファイバーヘッド仕様)
●真空コントロールベースユニット
型番 | 品名 | 数量 | 価格 |
---|---|---|---|
11427-AB | カーボンコーターシステム (カーボファイバー仕様) |
1 | ¥2,100,000 |
消耗品・オプション | |||
型番 | 品名・仕様 | 数量 | 価格 |
11431-AB | カーボンファイバー 2mmØ x 1m | 1 | ¥7,800 |
11431-BA | 10/pk | ¥45,000 | |
11436-AB | カーボンファイバー 1.3mmØ x 1m | 1 | ¥13,000 |
11436-BA | 10/pk | ¥85,000 | |
11435-AB | カーボンファイバー 1mmØ x 1m | 1 | ¥13,000 |
11435-BA | 10/pk | ¥85,000 | |
11439 | カーボンロッド用ヘッド | 1 | ¥260,000 |
01681 | 蒸着カーボンロッド 3.2mmØ(1/8") x 60mm | 10/pk | ¥22,000 |
01682 | 蒸着カーボンロッド 6.35mmØ(1/4") x 60mm | 10/pk | ¥22,000 |
01685 | 蒸着カーボンロッド 3.2mmØ(1/8") x 300mm | 10/pk | ¥26,000 |
01686 | 蒸着カーボンロッド 6.35mmØ(1/4") x 300mm | 10/pk | ¥27,000 |
01688 | 蒸着カーボンロッド 4.76mmØ(3/16") x 300mm | 10/pk | ¥27,000 |
※推奨真空ポンプ排気量: 50L/min
Sputter Coater System
●スパッタモジュール(オプション: Etchモード機能)
●QCM膜厚モニター
●真空コントロールベースユニット
型番 | 品名・仕様 | 数量 | 価格 |
---|---|---|---|
12151-AB | スパッタシステム(標準仕様) Auターゲット付属 |
1 | ¥2,050,000 |
12151E-AB | スパッタ(Etchモード付)システム | 1 | ¥2,400,000 |
12151Q-AB | スパッタ/膜厚モニターシステム | 1 | ¥2,400,000 |
12151EQ-AB | スパッタ(Etchモード)/膜厚モニターシステム | 1 | ¥2,800,000 |
消耗品・オプション | |||
型番 | 品名・仕様 | 数量 | 価格 |
14155 | Au(100%)ターゲット 57mmØ x 0.254mm | 1 | ¥560,000 |
14156 | Au(60%)/Pd(40%)ターゲット 57mmØ x 0.254mm | 1 | ¥450,000 |
14157 | Pt(100%)ターゲット 57mmØ x 0.254mm | 1 | ¥310,000 |
14158 | Pd(100%)ターゲット 57mmØ x 0.254mm | 1 | ¥170,000 |
14163 | Ag(100%)ターゲット 57mmØ x 0.254mm | 1 | ¥85,000 |
14167 | Ir(100%)ターゲット 57mmØ x 0.254mm | 1 | ¥1,730,000 |
※推奨真空ポンプ排気量: 50L/min
Carbon/Sputter Coater System
●カーボンコートモジュール
●スパッタモジュール(オプション: Etchモード機能)
●QCM膜厚モニター
●真空コントロールベースユニット
型番 | 品名 | 数量 | 価格 |
---|---|---|---|
12155-AB | カーボン/スパッタシステム | 1 | ¥2,900,000 |
12155E-AB | カーボン/スパッタ(Etchモード付)システム | 1 | ¥3,200,000 |
12155Q-AB | カーボン/スパッタ/膜厚モニターシステム | 1 | ¥3,300,000 |
12155EQ-AB | カーボン/スパッタ(Etchモード)/膜厚モニターシステム | 1 | ¥3,600,000 |
※推奨真空ポンプ排気量: 50L/min