会社概要
モジュールタイプ カーボン/スパッタコーターシステム
モジュールタイプ カーボン/スパッタコーター
カーボン/スパッタコーターは4つのモジュールから構成されています
使用目的等により、必要なモジュールユニットを選択して使用できます
また後からスパッタまたはカーボンモジュールの増設も可能
●Sputter Module (スパッタユニット) + Erch Mode
●Carbon Module (カーボンコーティングユニット)
●Vacuum Control Base (真空コントロールユニット)
●Thickness Monitor (膜厚モニターユニット)
特 長
● 省スペース/ベンチトップコーター
● 均一なコーティング
● 不活性ガス-IN/OUTポート
● サンプルステージの冷却可能
● サンプルへの熱損傷がありません
● サンプルステージの可動、カソードとの距離調整可能
● 各種ターゲット(Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag)
Carbon Coater system
カーボンコーターシステム
●カーボンコートモジュール(カーボンファイバーヘッド仕様)
●真空コントロールベースユニット
※真空ポンプはオプションとなります。
※推奨真空ポンプ排気量: 50L/min
●カーボンコートモジュール(カーボンファイバーヘッド仕様)
●真空コントロールベースユニット
| 型番 | 品名 | 数量 | 価格 |
|---|---|---|---|
| 11427-AB | カーボンコーターシステム (カーボファイバー仕様) |
1 | ¥1,870,000 |
| 消耗品・オプション | |||
| 型番 | 品名・仕様 | 数量 | 価格 |
| 11431-AB | カーボンファイバー 2mmØ x 1m | 1 | ¥6,200 |
| 11431-BA | 10/pk | ¥45,000 | |
| 11436-AB | カーボンファイバー 1.3mmØ x 1m | 1 | ¥11,500 |
| 11436-BA | 10/pk | ¥78,000 | |
| 11435-AB | カーボンファイバー 1mmØ x 1m | 1 | ¥12,000 |
| 11435-BA | 10/pk | ¥79,000 | |
| 11439 | カーボンロッド用ヘッド | 1 | ¥230,000 |
| 01681 | 蒸着カーボンロッド 3.2mmØ(1/8") x 60mm | 10/pk | ¥20,000 |
| 01682 | 蒸着カーボンロッド 6.35mmØ(1/4") x 60mm | 10/pk | ¥20,000 |
| 01685 | 蒸着カーボンロッド 3.2mmØ(1/8") x 300mm | 10/pk | ¥23,000 |
| 01686 | 蒸着カーボンロッド 6.35mmØ(1/4") x 300mm | 10/pk | ¥24,000 |
| 01688 | 蒸着カーボンロッド 4.76mmØ(3/16") x 300mm | 10/pk | ¥24,000 |
※推奨真空ポンプ排気量: 50L/min
Sputter Coater System
スパッタシステム
●スパッタモジュール(オプション: Etchモード機能)
●QCM膜厚モニター
●真空コントロールベースユニット
※真空ポンプはオプションとなります。
※推奨真空ポンプ排気量: 50L/min
●スパッタモジュール(オプション: Etchモード機能)
●QCM膜厚モニター
●真空コントロールベースユニット
| 型番 | 品名・仕様 | 数量 | 価格 |
|---|---|---|---|
| 12151-AB | スパッタシステム(標準仕様) Auターゲット付属 |
1 | ¥1,870,000 |
| 12151E-AB | スパッタ(Etchモード付)システム | 1 | ¥2,150,000 |
| 12151Q-AB | スパッタ/膜厚モニターシステム | 1 | ¥1,980,000 |
| 12151EQ-AB | スパッタ(Etchモード)/膜厚モニターシステム | 1 | ¥2,500,000 |
| 消耗品・オプション | |||
| 型番 | 品名・仕様 | 数量 | 価格 |
| 14155 | Au(100%)ターゲット 57mmØ x 0.254mm | 1 | ¥420,000 |
| 14156 | Au(60%)/Pd(40%)ターゲット 57mmØ x 0.254mm | 1 | ¥340,000 |
| 14157 | Pt(100%)ターゲット 57mmØ x 0.254mm | 1 | ¥300,000 |
| 14158 | Pd(100%)ターゲット 57mmØ x 0.254mm | 1 | ¥165,000 |
| 14163 | Ag(100%)ターゲット 57mmØ x 0.254mm | 1 | ¥80,000 |
| 14167 | Ir(100%)ターゲット 57mmØ x 0.254mm | 1 | ¥555,000 |
※推奨真空ポンプ排気量: 50L/min
Carbon/Sputter Coater System
カーボンコート/スパッタシステム
●カーボンコートモジュール
●スパッタモジュール(オプション: Etchモード機能)
●QCM膜厚モニター
●真空コントロールベースユニット
※真空ポンプはオプションとなります。
※推奨真空ポンプ排気量: 50L/min
●カーボンコートモジュール
●スパッタモジュール(オプション: Etchモード機能)
●QCM膜厚モニター
●真空コントロールベースユニット
| 型番 | 品名 | 数量 | 価格 |
|---|---|---|---|
| 12155-AB | カーボン/スパッタシステム | 1 | ¥2,600,000 |
| 12155E-AB | カーボン/スパッタ(Etchモード付)システム | 1 | ¥2,800,000 |
| 12155Q-AB | カーボン/スパッタ/膜厚モニターシステム | 1 | ¥2,900,000 |
| 12155EQ-AB | カーボン/スパッタ(Etchモード)/膜厚モニターシステム | 1 | ¥3,200,000 |
※推奨真空ポンプ排気量: 50L/min
